在科學技術不斷發展的時代,氦氣及其應用技術也在不斷發展和完善。這主要由兩個因素決定:一方面,檢漏應用技術不斷對檢漏儀提出新的要求,迫使儀器本身更新;另一方面,檢漏技術在應用過程中也隨時隨地對現有檢漏儀進行補充。對于一些不足之處,江蘇氦檢漏系統現階段氦質譜檢漏儀的研究進展及其應用之間的關系是互補和相輔相成的。
經過近半個世紀的努力,如今的氦質譜檢漏儀已經告別了40年代初的狀況。
主要體現在以下幾個方面:
(1)高壓檢漏:檢漏口壓力可高達數百帕左右,對檢測大系統、大泄漏工件非常有用。
(2)自動化程度高:氦峰自動校準,自動調零,自動量程轉換,自動數據處理,外置打印機。整個機器由電腦控制,菜單的選擇功能,一個按鈕就可以完成一個完整的檢漏過程。
(3)便攜式:近年來,各國引進的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且攜帶方便,為野外作業和高空作業提供了更大的便利。
(4)檢漏范圍寬:目前檢漏儀質量范圍廣。它不僅能檢測氦氣,還能檢測其他氣體。
(5)無油干漏檢測:在一些家,可以采用干泵實現無油蒸汽的效果,為無油系統、芯片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。
江蘇氦檢漏系統分子泵排氣系統取代了擴散泵排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對儀器的快速啟動和快速停機也有很大的貢獻。為了適應檢漏壓力的變化和不同的靈敏度要求,分子泵一般采用多級結構和幾種不同的轉速。例如,瑞士和日本利用改變分子泵的速度來達到這一目的,并提高泄漏檢測靈敏度。另外,反擴散檢漏方法實現了高壓下的檢漏,為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。