蘇州氦檢漏儀器在產品開發初期的包裝組件的氣密性驗證用示蹤氣體法(氦質譜檢漏)
檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率,這些目的是通過采用一些標準的檢漏方法實現的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。根據不同的檢漏目的,常用基礎的有3種檢漏方法。
1.負壓法
該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口,用儀器的真空系統對被檢件抽真空檢漏,然后用噴槍向可能泄漏處噴吹氦氣。當有漏孔存在時,氦氣通過漏孔進入氦質譜檢漏儀被定量檢測出。
2.正壓法
又稱吸槍檢漏,將專用吸槍接在儀器檢漏口上,被檢件充入規定壓力的氦氣(純氦氣或一定比例氦氮混合氣)。檢漏時,吸槍沿可能泄漏處慢慢移動,被檢件有漏孔,氦氣自漏孔漏出,被吸槍吸入至儀器的質譜系統而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。
3.背壓法
全密封件進行氣密性檢測時采用背壓法。檢漏前用壓氦罐向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦氣;或者先在被檢件前道工藝中向產品內部封入氦氣。被檢件放入檢漏罐中,再將檢漏罐連接到氦質譜檢漏儀,對檢漏罐抽真空檢漏,被檢件有漏孔存在,通過漏孔壓入(或封入)被檢件的氦氣會泄漏出來進入檢漏罐,被氦質譜檢漏儀定量檢測到。用這種方法測得的漏率是總漏率。