氦檢漏儀又稱質譜檢漏儀,是用來確定和測量進入系統或容納設備的泄漏量。通過與檢漏儀連接的試驗部件將氦氣注入。一個氦氣經過測試后進入系統,然后測量這個壓力,然后在儀器上顯示出結果。
氦檢漏儀包括下列部分:
1.用來檢測氦質量的分光計。
2.用來保持分光計壓力的真空系統。
3.機械泵抽取待測零件。
4.對各種檢測階段的閥門提供支持:抽真空、試驗和排放。
5.放大器和讀出儀表,用來監測輸出信號。
6.動力與控制。
7.要測試的部件與探測器的夾具相連。
氦檢漏儀器氣密性測試儀是根據差壓的變化,測得工件的具體泄漏量,判斷被測工件是否合格,并將這些信息傳遞給運行人員。由于標準產品與被測工件形狀,大小相同,且在檢測過程中,兩端的外部環境條件完全相同,因此此試驗方法可消除溫度、振動等環境因素的影響,獲得較高精度的測量結果。