通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應該考慮是否存在內部漏點。筆者發現，內漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證，可以在閥門保持關閉的狀態下，將閥門的保護氣體一端法蘭打開- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標不合格的原因。
氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。氦質譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染。
為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。
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