檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統設計是否滿足技術要求。
機翼整體油箱的密封是機翼翼盒制造技術中的關鍵，其密封性能直接影響~飛機的服役與安全。機翼整體油箱容積大、密封性要求高，傳統的檢漏方法采用氣密試驗和油密試驗，這些方法存在精度低、成本高、定量困難、效率不高等缺點，而且進行油密試驗需要向整體油箱中注入大量的航空煤油，在沒有配備油密防爆廠房和油密試驗臺的條件下，存在巨大的安全隱患。 因此，急需一種檢測精度和、的先進泄漏檢測技術來克服.上述困難，以提高整體油箱的制造水平和生產效率。
儀器工作在穩定的狀態，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續抽、空氣清氦、氮氣清氦的清氦方式，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時間。而通過實驗表明，利用氮氣來清氦的效率是高的。 鑒于儀器在檢漏的過程中氮氣清氦的優越性，對儀器的系統進行改進。增加清氦電磁閥。在氦質譜檢漏儀中增加氮氣清洗設置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護設置，即儀器在檢測到大漏時，儀器自動停止，防止大量氦氣再進入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。
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