真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
氦質譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學性能穩定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質譜檢漏儀，短時間內儀器內部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。對檢漏方法的要求：穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統，從而擴散到質譜室內，氦質譜檢漏儀感應到氦就會立刻有響應。從而達到了檢漏的結果。
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