真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
因此,電力行業對高壓電氣設備及其配套產品在密封性能上要求極高，氦質譜正壓檢漏法。給被檢件內腔充入與設備工作壓力相同的氦氣,置入封閉容器中,將封閉容器與氫質譜檢漏儀連通，待氦質譜檢漏儀指示可檢時,被檢件內的氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室，氦質譜檢漏儀經過分析后自動指示出被檢件的漏率。氦質譜負壓檢漏法，將被檢件裝在氦質譜檢漏儀上，對被檢件抽真空，當達到檢漏儀的開檢壓力后，對被檢件漏點處噴氦氣，氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室,氦質譜檢漏儀經過分析后自動指示出被檢件的漏率
對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。對于體積較大的工件，采用背壓發，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦氣應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠進行。
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