氦質譜檢漏儀是如何工作的? 氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。 在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調節加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉半徑而被分開。
通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應該考慮是否存在內部漏點。筆者發現，內漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證，可以在閥門保持關閉的狀態下，將閥門的保護氣體一端法蘭打開- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標不合格的原因。
尋求一種合適的檢漏方法，對汽輪機真空系統進行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機組的真空嚴密性及真空已成為改善機組運行狀況、節能降耗以及機組安全運行的一項重要工作。 氦質譜檢漏技術是一種 應用于國內外對真空容器檢漏的先進技術，氦質譜檢漏技術的高靈敏度和無損性早已成功地應用于航天、電子、制冷等領域。應用氦質譜檢漏技術對火電廠汽輪機真空系統進行檢漏的方法，近幾年已在電力生產中逐漸推廣應用。
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