氦質譜檢漏儀主要技術指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數據；自動生成數據保存，可追溯數據來源。氦氣檢漏儀關鍵零部件集優采購，保證了系統的穩定性和可靠性；真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；
氦質譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測，對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內置的真空系統，將被檢氣體抽入到儀器內部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場當中，利用帶電離子在磁場中的偏轉效應，使氦離子與其它離子分離，通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示，從而反映出被測器件的密封性。
為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。
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