氦質譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測，對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內置的真空系統，將被檢氣體抽入到儀器內部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場當中，利用帶電離子在磁場中的偏轉效應，使氦離子與其它離子分離，通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示，從而反映出被測器件的密封性。
氦質譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學性能穩定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質譜檢漏儀，短時間內儀器內部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
氦質譜檢漏主要領域：原子能工業——氣體擴散處理系統；高能物理研究院——及其配件；氦質譜檢漏設備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。氦質譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種。
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