質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
整體油箱采用整體設計、整體裝配，即將整體壁板、梁以及肋采用高鎖螺栓進行連接，內部肋開有通孔，機翼前后梁不開孔，高鎖螺栓的夾層處涂密封膠使之密封，形成一一個密封的翼盒。在實際生產中，由于各種不確定的因素，使得一些螺栓和夾層處的密封性達不到要求，因而存在漏油的現象。為了解決這- -問題， 有必要對油箱進行密封性檢測，找出準確的漏點并加以修補。
儀器工作在穩定的狀態，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續抽、空氣清氦、氮氣清氦的清氦方式，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時間。而通過實驗表明，利用氮氣來清氦的效率是高的。 鑒于儀器在檢漏的過程中氮氣清氦的優越性，對儀器的系統進行改進。增加清氦電磁閥。在氦質譜檢漏儀中增加氮氣清洗設置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護設置，即儀器在檢測到大漏時，儀器自動停止，防止大量氦氣再進入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。
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